发明专利证书

 单轴回转式机械手臂 

  一种有机溶剂薄膜干燥装置 

  高精度浓度计

   剥离液回收混酸及测量方法与系统

   一种电子式HF升降温系统

   通过硅片自旋转及振荡机构改善蚀刻率的测试方法 

软件著作权登记证书

 化学品供应系统H2SO4设备控制系统 

 气瓶柜控制系统 

 化学品供应系统HCL设备控制系统 

 化学品供应系统Oxide设备控制系统 

 化学品供应系统W2000设备控制系统 

 清洗机设备控制系统 

实用新型专利证书

 一种薄膜干燥装置 

 在线式石英加热器 

 半导体清洗设备上的快速倾倒清洗装置 

 带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置 

 化学品桶快速连接装置 

  精度容量排放控制化学容器 

 应用于半导体清洗设备上的单轴回转式机械手臂 

 一种化学品供应系统

 一种化学品供应系统用三通箱 

 一种化学品供应系统用阀箱 

 一种化学品供应系统用取样箱 

 化学品供应系统的管路接头连接装置 

 酸性化学品供应控制系统 

 一种化学品供应的监控报警系统 

 化学品供应系统用液气分离装置 

 化学品供应系统用灌装机械手臂 

 化学品供应系统用强制抽风排气储气罐 

 化学品供应系统用进液管清洗装置 

 气体供应系统的分段控制加热毯 

 全自动气柜换钢瓶防泄漏系统 

 自动切换双钢瓶氮气面板 

 在线式全自动HF及HNO3换系统 

 半自动一型蚀刻清洗机 

 在线式稀释设备 

 硅片自旋转及振荡机构 

" 硅片研磨浆料搅拌装置

(Slurry搅拌装置) "

 剥离液回收混酸及测量系统 

 一种剥离液废液再生剥离液装置 

 一种ITO草酸粉末稀释系统 

 一种电子级化学品盛装桶的清洗设备 

 一种改进型化学品取样装置 

 湿式显影辅助晃动机构 

 一种改进型HF升降温系统 

 硅片研磨液小型氮气加湿装置 

 改进型电子级化学品供应桶放置平台 

 改进型硅片自旋转及振荡机构 

 电子级化学品分装设备 

 研磨液混酸稀释系统 

 酮酸供应温度控制系统