发明专利证书

 单轴回转式机械手臂 
 一种电子式HF升降温系统 
 一种半导体晶圆电镀夹具 
 一种半导体生产用温控设备 
 一种化工制药用废液上环绕式回收设备 
 一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备 
 反应槽内晶圆组分离装置 
 一种用于半导体化学品溶液的吸取装置 
 抗气泡高稳定性折光计 
 一种半导体供液设备及供液方法 
 一种半导体研磨设备的研磨液供给输送装置 
 一种半导体用高纯化学品自动取样分析方法及系统 
 一种半导体研磨设备的研磨液供给输送装置 
 一种晶圆棒多线切割工艺中的废液回收系统 
 一种涂胶显影机晶圆定位装置 
 一种半导体研磨液供给输送装置 
 一种半导体用化学品快速过滤装置 
 一种半导体晶圆的定位装置 
 气体流量测试装置 
 一种芯片盘推送装置 
 一种链式晶圆清洗干燥机器人整机 
 一种高精度晶圆研磨机 
 一种化工原料反应塔催化物清除器 
 一种LED用单晶硅片清洗设备及其使用方法 
 一种全自动化学品桶清洗设备 
 一种具有挥发性有毒有机化合物收集处理装置 
 一种废弃剥离液回收再利用设备 
  一种全自动化学品灌装设备 
 一种晶圆蚀刻清洗后干燥设备 
 用于半导体晶圆可实现翻转动作的上下摇摆机构 
 一种智能化集成端子模块 
 散热装置及分散式可视化智能控温系统 
 一种自动对接系统及对接方法 
一种用于晶圆刷洗的同步旋转升降真空主轴系统
一种半导体晶圆清洗机摆臂机构
一种晶圆翘曲度的测量方法和装置
一种半导体用化学品过滤装置
一种多尺寸半导体干燥装置
一种半导体晶片清洗机
一种半导体湿式制程设备
一种剥离液分离监控系统及控制方法
一种外延涂布半导体晶片的装置
一种刻蚀清洗机硅片导向装置
阀箱打包流水线
一种半导体芯片湿法刻蚀装置
一种切割装置的控制方法及控制系统
一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备
一种全自动半导体清洗设备

软件著作权登记证书

 化学品供应系统H2SO4设备控制系统 

 气瓶柜控制系统 

 化学品供应系统HCL设备控制系统 

 化学品供应系统Oxide设备控制系统 

 化学品供应系统W2000设备控制系统 

 清洗机设备控制系统 

实用新型专利证书

 一种薄膜干燥装置 

 在线式石英加热器 

 半导体清洗设备上的快速倾倒清洗装置 

 带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置 

 化学品桶快速连接装置 

  精度容量排放控制化学容器 

 应用于半导体清洗设备上的单轴回转式机械手臂 

 一种化学品供应系统

 一种化学品供应系统用三通箱 

 一种化学品供应系统用阀箱 

 一种化学品供应系统用取样箱 

 化学品供应系统的管路接头连接装置 

 酸性化学品供应控制系统 

 一种化学品供应的监控报警系统 

 化学品供应系统用液气分离装置 

 化学品供应系统用灌装机械手臂 

 化学品供应系统用强制抽风排气储气罐 

 化学品供应系统用进液管清洗装置 

 气体供应系统的分段控制加热毯 

 全自动气柜换钢瓶防泄漏系统 

 自动切换双钢瓶氮气面板 

 在线式全自动HF及HNO3换系统 

 半自动一型蚀刻清洗机 

 在线式稀释设备 

 硅片自旋转及振荡机构 

" 硅片研磨浆料搅拌装置

(Slurry搅拌装置) "

 剥离液回收混酸及测量系统 

 一种剥离液废液再生剥离液装置 

 一种ITO草酸粉末稀释系统 

 一种电子级化学品盛装桶的清洗设备 

 一种改进型化学品取样装置 

 湿式显影辅助晃动机构 

 一种改进型HF升降温系统 

 硅片研磨液小型氮气加湿装置 

 改进型电子级化学品供应桶放置平台 

 改进型硅片自旋转及振荡机构 

 电子级化学品分装设备 

 研磨液混酸稀释系统 

 酮酸供应温度控制系统