01

研磨液输送设备（STM） 

将200L桶装的原料研磨液经泵循环搅拌均匀后，输送到混合供应设备（SBDM）阀件、接头及管道采用抗腐蚀的PFA材质,提供PPT等级的品质保障。

设计有氮气加湿装置，有效避免研磨液结晶。

设计有酸桶接头和DIP Tube清洗装置。

设计有排液管道清洗功能等防止结晶对策。

设计有便利的纯水冲洗、氮气吹扫等维护功能。

02

研磨液混合供应设备（SBDM） 

根据配方设定，混合原料研磨液、纯水和双氧水，经泵循环搅拌均匀，通过测量PH、比重、电导率和浓度等品质控制物化特性，确认合格后，供应到客户生产设备使用。

阀件、接头及管道采用抗腐蚀的PFA材质,提供PPT等级的品质保障。

设计有氮气加湿装置，有效避免研磨液结晶。

设计多个混合供应槽冗余设计，提高系统容错率，保证设备安全运行。

设计搭载磁悬浮泵，采用PID控制，稳定控制供应压力。 

设计多种理化特性测量仪器仪表，控制研磨液品质。

设计有排液管道清洗功能防止结晶对策。

设计有便利的纯水冲洗、氮气吹扫等维护功能

03

研磨液阀箱（VMB） 

阀件、接头及管道采用抗腐蚀的PFA材质,提供PPT等级的品质保障。设计有便利的纯水冲洗功能。

04

研磨液监控系统（SCADA） 

每套研磨液设备均设计有独立的PLC和网络通信模块，监控系统(SCADA)通过Ethernet网络，收集所有的研磨液设备的信息，实时显示系统的运转情况。